タングステンのフィラメントの走査型電子顕微鏡(SEM) |
| A63.7006 | A63.7015 |
決断 | 15nm@30KV (SE) | 5nm@30KV (BSE) |
拡大 | 20x~60000x | 20x~150000x |
電子銃 | 前集中させたタングステンのフィラメントのカートリッジ、バイアス電圧自動システム |
電圧 | 加速の電圧1KVへの30KV、 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6ステップ |
レンズ系 | 2段階ダイヤリングの電磁石の集光レンズ、 1段階の電磁石の対物レンズ |
開き | - | 調節可能なアイリス絞り30/50/50/100umの高リゾリューションのイメージを得る変更の電子ビーム |
真空システム | 回転式ポンプ、100Liters/min ターボ分子ポンプ、70Liters/sec Ttimeの十分に自動 <3 Minutes="">真空制御の下のポンプ |
探知器 | SE:二次電子の探知器 |
BSE:背部分散の探知器(任意) |
EDS:(任意) |
標本の働く段階 | 3つの軸線システム、XのY軸:35mm/R軸線:360° | 5軸線システム、XのY軸:35mm/R軸線:360°、Z:0~22mm/傾き軸線:0~45° |
最高の標本 | 直径の70mm、高さの30mm | 直径の80mm、高さの35mm |
イメージ転位 | XのYのイメージ転位±150um |
イメージのスキャン システム | 速いスキャン:320x240 (スキャン時間:0.1秒。) 遅いスキャン:640x480 (スキャン時間:3秒。) 写真モード1:1280x960 写真モード2:2560x1920 写真モード3:5120x3840 |
イメージのフォーマット | BMP、JPEG、PNG、TIFF |
自動機能 | 自動開始、自動焦点、自動明るさ/対照 |
写真の表示 | 拡大、探知器のタイプ、加速の電圧は、モード、ロゴ(テキスト)、日付に掃除機をかける及び時間は、マーカー、スケール棒、等をショートメッセージを送る。 |
コンピュータ及びソフトウェア | 全SEMの顕微鏡操作を、コンピュータ指定より少なくより内側I5 3.2GHz完全な制御の専門のイメージ分析 ソフトウェアが付いているPCのワーク・ステーションの勝利10システム、4G記憶、24" IPS LCDのモニター、500Gハード ディスク、マウス、キーボード |
サイズ及び重量 | 顕微鏡ボディ460x600x950mmの総重量95Kg |
A63.7006、A63.7015標準的な用具及び部品は準備する |
1 | 前に集中させたタングステンのフィラメント | 5 PC/箱 |
2 | サンプル段階Dia. 15mm | 10 PC |
3 | サンプル段階Dia. 25mm | 10 PC |
4 | サンプル段階Dia. 15mmの45°傾き | 5pcs |
5 | サンプル段階Dia. 15mm 90°の傾き | 5pcs |
6 | 高さの標準的なマスター | 1 PC |
7 | アレン・レンチ | 1セット |
8 | SEMソフトウェアCD | 1 PC |
9 | カーボン伝導性テープ) | 1 PC |
10 | はさみ | 1 PC |
11 | Aurilave | 1 PC |
12 | ピンセット | 1 PC |